底装料多工位气相沉积炉

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底装料多工位气相沉积炉

底装料多工位气相沉积炉一种用于各类热解炭、热解碳、碳/碳复合材料、碳基材料、超高温陶瓷为基底的CVD气相沉积，以及各类金属、石墨基底涂层的石墨烯的CVD沉积制备工业炉。

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产品简介

底装料多工位气相沉积炉一种用于各类热解炭、热解碳、碳/碳复合材料、碳基材料、超高温陶瓷为基底的CVD气相沉积，以及各类金属、石墨基底涂层的石墨烯的CVD沉积制备工业炉。

底装料多工位气相沉积炉

底装料多工位气相沉积炉

产品参数

产品型号规格 φXh(mm)	600X600	1000X1000	1500X1000	2000X1000	2000X2000
电源功率(KW)	60	90	120	150	200
最高工作温度(℃)	1250	1250	1250	1250	1250
极限真空度(pa)	10	10	10	10	10
压升率(pa/h)	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
恒温区温差(℃)	±5	±5	±5	±5	±5
质量流量(L/min)	60	60	60	60	60
工作工位	1	1-3	1-3	1-3	1-3

产品特征

1、控温精度高，±0.1℃，保温3小时后，测温环12点测温，温度均匀性小于±3℃

2、系统工作温度25-1250度，设计充气考虑CVD工作环境，长期稳定工作

3、系统配置完善的保护、过压、过流、水路断流、三相不平衡、水温、可燃气体泄露报警等。

4、可配备多路匀速旋转工作平台

5、气路设置多路及多种控制方式的质量流量计，手动针形阀、多路气体混合输入装置。

6、气体流速、流量可控，支持手持式风速测量仪

7、炉内挥发附着物少

8、冷凝收集器收集效率90%以上

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