底装料多工位气相沉积炉

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底装料多工位气相沉积炉

底装料多工位气相沉积炉一种用于各类热解炭、热解碳、碳/碳复合材料、碳基材料、超高温陶瓷为基底的CVD气相沉积，以及各类金属、石墨基底涂层的石墨烯的CVD沉积制备工业炉。

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产品简介

底装料多工位气相沉积炉一种用于各类热解炭、热解碳、碳/碳复合材料、碳基材料、超高温陶瓷为基底的CVD气相沉积，以及各类金属、石墨基底涂层的石墨烯的CVD沉积制备工业炉。

底装料多工位气相沉积炉

底装料多工位气相沉积炉

产品参数

产品型号规格 φXh(mm)	600X600	1000X1000	1500X1000	2000X1000	2000X2000
电源功率(KW)	60	90	120	150	200
最高工作温度(℃)	1250	1250	1250	1250	1250
极限真空度(pa)	10	10	10	10	10
压升率(pa/h)	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
恒温区温差(℃)	±5	±5	±5	±5	±5
质量流量(L/min)	60	60	60	60	60
工作工位	1	1-3	1-3	1-3	1-3

产品特征

1、控温精度高，±0.1℃，保温3小时后，测温环12点测温，温度均匀性小于±3℃

2、系统工作温度25-1250度，设计充气考虑CVD工作环境，长期稳定工作

3、系统配置完善的保护、过压、过流、水路断流、三相不平衡、水温、可燃气体泄露报警等。

4、可配备多路匀速旋转工作平台

5、气路设置多路及多种控制方式的质量流量计，手动针形阀、多路气体混合输入装置。

6、气体流速、流量可控，支持手持式风速测量仪

7、炉内挥发附着物少

8、冷凝收集器收集效率90%以上

【本文标签】：高级碳材料热处理解决方案半导体与光伏产业热处理解决方案高熔点陶瓷烧结解决方案

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