Name: 大型卧式方形CVD气相沉积炉_大容积CVI气相渗透致密化系统-远航工业炉
Brand: 远航工业炉
Availability: InStock

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大型卧式方形CVD气相沉积/高温炉

设备特性：采用方形加热室设计，相比圆形截面，在处理板材和方形工件时空间利用率提升30%以上。核心功能：集成了化学气相沉积（CVD）与气相渗透（CVI）工艺，最高温度可达 2100℃，满足C/C、C/SiC等复合材料的长周期致密化需求。智能集成：集成式电源柜设计，配备多区精密控温与质量流量计，支持复杂工艺曲线的一键式编程运行。

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产品详情

产品概述 / Overview

大型卧式方形CVD/CVI炉是远航工业炉针对高性能复合材料研发的大容积生产型设备。通过在高温环境下引入气态前驱体（如丙烯、甲烷等），使其在工件孔隙内或表面发生热分解反应。卧式方形结构不仅便于叉车式装卸料，更能实现大批量板材、筒类工件的高效沉积。

图：远航工业炉-大型卧式方形CVD设备现场（可根据需求定制尺寸）

核心技术参数 / Technical Specs

加热室结构	卧式方形（等静压石墨电阻加热）
最高/常用温度	2100℃ / 2000℃
温度均匀度	≤ ±5℃（多区独立控温）
冷态真空度	≤ 5Pa（支持 100-7500Pa 自动恒压控制）
气路控制	北京七星华创质量流量计（Ar, N2, CH4, C3H6等）
自动化程度	西门子PLC + 台达15寸触摸屏 + 工艺数据导出