
上一张
下一张
咨询热线028-8748-0141
化学气相沉积(CVD)是一种通过前驱气体热分解生成反应产物,并沉积在基底形成薄膜或基体致密化的工艺。远航工业炉研发的下出料 CVD/碳化炉,针对碳/碳(C/C)复合材料、碳化硅(SiC)涂层等领域设计,是实现高性能材料致密化的核心关键设备。
图:远航工业炉-下出料CVD气相沉积/碳化炉实操现场
| 加热方式 | 等静压石墨电阻加热(低压大电流方式) |
| 设计/常用温度 | 最高温度 2100℃ / 长期常用 2000℃ |
| 温控精度 | ±0.1℃(日本岛电精密仪表控制) |
| 极限真空度 | ≤ 5Pa(冷态空炉状态下) |
| 恒压控制 | 100-7500Pa 范围全自动微正压恒定控制 |
| 控制系统 | 西门子PLC + 15寸台达触摸屏(带历史数据导出) |
| 有效放料空间 | 根据客户工艺需求提供非标尺寸定制 |
1. 多级气路管理: 配备北京七星华创质量流量计,精确控制前驱体及保护气体流量。
2. 高安全性设计: 全面配备声光报警系统、PLC逻辑互锁及多重超温保护。
3. 定制化物流: 配置专用下出料进出料车,大幅提升生产效率并降低工人劳动强度。
4. 精密真空控制: 采用电阻+电容薄膜真空规管,实现全量程高精度真空测量与反馈。
?? 远航提示:CVD/CVI工艺复杂,反应室设计与气路配置需严谨。我们提供多种尺寸定制及技术扩展服务,欢迎拨打 15115399105 咨询。
相关产品
/ Relevant product
底装料多工位气相沉积炉一种用于各类热解炭、热解碳、碳/碳复合材料、碳基材料、超高温陶瓷为基底的CVD气相...
查看详情
解决方案
解决方案
后期维护
后期维护
官方微信
返回顶部