底装料多工位气相沉积炉_CVD/CVI沉积系统厂家

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底装料多工位气相沉积炉

结构优势：采用底装料结构，极大地方便了大尺寸、重型工件的平稳装卸，减少了对炉膛及发热体的损伤风险。高效产出：支持 1-3 工位可选，可配备多路匀速旋转工作平台，确保涂层沉积的均匀度与批次稳定性。精密控温：最高工作温度 1250℃，控温精度达 ±0.1℃。配备多路质量流量计与高效率冷凝收集器（收集率>90%），满足各种复杂CVD工艺需求。

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产品详情

产品概述 / Overview

底装料多工位气相沉积炉是远航工业炉专为热解炭、碳/碳复合材料（C/C）、超高温陶瓷（C/SiC）及石墨烯涂层制备而研制的先进设备。在化学气相沉积（CVD）过程中，通过将反应气体引入高温反应室并使其发生热分解反应，产物精准沉积到基底形成高性能薄膜。底装料与多工位设计的结合，不仅提升了操作便捷性，更实现了产能的跨越式增长。

图：远航工业炉-底装料多工位CVD沉积系统（支持多尺寸定制）

技术参数表 / Specs

型号规格 (φ*h mm)	电源功率(KW)	温差(℃)	工作工位	极限真空(pa)
600 X 600	60	±5	1	10
1000 X 1000	90	±5	1 - 3	10
2000 X 2000	200	±5	1 - 3	10

* 性能说明：控温精度 ±0.1℃，测温环12点实测均匀性 < ±3℃。

远航CVD沉积炉的核心优势

1. 极致均匀性： 配备匀速旋转平台，确保复杂形状零件表面涂层的一致性。
2. 高纯气路管理： 设置多路质量流量计与多级气体混合输入，流量精确可控。
3. 环保与净化： 配备高效率冷凝收集系统（>90%），有效回收尾气并减少炉内附着物。
4. 全方位安全保障： 集成三相不平衡、可燃气体泄漏报警、水路断流保护等功能。
5. 卓越稳定性： 设计充分考虑CVD腐蚀性环境，确保核心组件长期稳定工作。