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实验型碳化硅烧结炉

实验型碳化硅烧结炉

小型气氛真空箱式炉是本公司新开发的一种新型炉型,控温精度高≤0.1℃,温度均匀性好±2℃,温度可达2300℃。占地面积小,周转灵活。特别适合于小批量生产或者实验室使用。

小型气氛真空箱式高温炉是本公司新开发的一种新型炉型,控温精度高≤0.1℃,温度均匀性好±2℃,温度可达2300℃。占地面积小,周转灵活。特别适合于小批量生产或者实验室使用。

真空箱式炉.jpg


产品参数


1.型号:YHGYL-THL45/45-50

2.加热方式:等静压石墨电阻加热

3.电源控制:低直流电压,大电流方式

4.设计功率60KW,实际生产功率不大于50KW

5.电源:三相五线制,三相380V,频率50HZ

6.设计温度:2100℃,长期常用温度2000℃;

7.冷却方式:自然冷却

8.有效放料空间:宽450mmX高450mm深500mm

9.升温速率:装料情况下1000℃以下平均升温速率5℃/min,1000-1800℃平均升温速率5℃/min,1800-2250℃平均升温速率3℃/min

10.控温精度:RT室温-2000℃≤±2℃

11.电源配置形式:与炉体集成式

12.炉体形式:卧式前门出料

13.炉内工作气份:真空或Ar、N2、NH?等气体(微正压),真空置换;

14.温度均匀度:≤±3℃(恒温30min后评估);

15.温度测量:单区钨套管钨铼热电偶测温

16.温度控制:日本岛电FP23,PID智能化温控仪程序控制(控温精度:±0.1℃)和手动控制;

17.保护方式:PLC+触摸屏+声光报警

18.真空系统配置:2H-70滑阀泵

19.真空测量:电阻+电容薄膜真空规管,测量范围0-105pa

20.压升率:抽真空至5Pa,停泵30分钟后开始计时,每小时压升10P

21.冷态极限真空度:5Pa(在洁净、冷态、空炉状态下)

22.空炉抽真空时间20min(空炉,室温,参照GB/T10066.1-2004规定检测。)

23.炉内最大压力0.02Mpa

24.防爆阀起跳压力:0.07Mpa

25.冷却系统:所有循环水管道密闭性好,使用过程中无泄漏现象;

26.电气控制:西门子PLC+台达15寸触摸屏,关键参数如真空度、温度、功率可实时和历史查询,并可通过U盘导出,并设置无纸记录仪

27.关键器件采用进口材料,如控温仪表及测温仪等。

28.开盖方式:手动

29.物料进出方式:配置专用进出料车

30.油漆颜色:主体乳白色,边框天蓝色,底座黑色



针对炉内低温段温升滞后严重,通过多段AI自学习PID及温控曲线拟合技术,使得在低温段与高温段控温精度一致,达到≤±2℃。


表1.png

产品特征/ Product characteristics1、最高工作温度2300℃,常用温度2250℃.
2、工作气氛:空气气氛、真空烧结或者还原气氛烧结均可(微正压)
3、温度测量:热电偶与远红外线光学测温测温组件形式
4、温度控制:程序控制和手动控制; 控温精度:±0.1℃