产品概述 / Overview
底装料多工位气相沉积炉是远航工业炉专为热解炭、碳/碳复合材料（C/C）、超高温陶瓷（C/SiC）及石墨烯涂层制备而研制的先进设备。在化学气相沉积（CVD）过程中，通过将反应气体引入高温反应室并使其发生热分解反应，产物精准沉积到基底形成高性能薄膜。底装料与多工位设计的结合，不仅提升了操作便捷性，更实现了产能的跨越式增长。
图：远航工业炉-底装料多工位CVD沉积系统（支持多尺寸定制）
技术参数表 / Specs
| 型号规格 (φ*h mm) | 电源功率(KW) | 温差(℃) | 工作工位 | 极限真空(pa) |
|---|---|---|---|---|
| 600 X 600 | 60 | ±5 | 1 | 10 |
| 1000 X 1000 | 90 | ±5 | 1 - 3 | 10 |
| 2000 X 2000 | 200 | ±5 | 1 - 3 | 10 |
* 性能说明：控温精度 ±0.1℃，测温环12点实测均匀性 < ±3℃。
远航CVD沉积炉的核心优势
1.极致均匀性：配备匀速旋转平台，确保复杂形状零件表面涂层的一致性。
2.高纯气路管理：设置多路质量流量计与多级气体混合输入，流量精确可控。
3.环保与净化：配备高效率冷凝收集系统（>90%），有效回收尾气并减少炉内附着物。
4.全方位安全保障：集成三相不平衡、可燃气体泄漏报警、水路断流保护等功能。
5.卓越稳定性：设计充分考虑CVD腐蚀性环境，确保核心组件长期稳定工作。
2.高纯气路管理：设置多路质量流量计与多级气体混合输入，流量精确可控。
3.环保与净化：配备高效率冷凝收集系统（>90%），有效回收尾气并减少炉内附着物。
4.全方位安全保障：集成三相不平衡、可燃气体泄漏报警、水路断流保护等功能。
5.卓越稳定性：设计充分考虑CVD腐蚀性环境，确保核心组件长期稳定工作。
碳陶制备配套生产线 / Process Flow
碳纤维预制体 → 高温裂解处理 →化学气相沉积(CVD/CVI)致密化→ 机械加工 → 石墨化 → 陶瓷化 → 后续加工
远航工业炉——助力高性能碳/碳、碳/陶材料实现高效均匀沉积。
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