真空能做到多少？气氛保护又是怎么回事？

做石墨化炉这么多年，几乎每个来咨询的客户都会问：你们这炉子真空能做到多少？这个问题本身没错，但真正懂行的用户，更关心的是在超高温工艺中到底该怎么用。

真空能力

我们的石墨化炉极限真空度可以做到1×10?²Pa（约10??Torr），足以满足绝大部分材料的脱气、除杂和低温阶段的处理需求。真空泵组包括旋片泵、罗茨泵，再加上扩散泵或分子泵的组合。

高温下为什么要切换微正压？

这是重点！石墨材料在高温下会发生升华（直接从固态变气态）。温度越高，真空度越高，升华速度越快。我们曾遇到客户在3000℃下长时间保持高真空，结果一炉产品全部报废，发热体也损耗殆尽。

微正压保护怎么工作？

在高温阶段通入高纯氩气，把炉内压力维持在约1000Pa的微正压状态。这个压力已经足够有效抑制石墨升华，同时隔绝氧气防止氧化。

最实用的做法

低温阶段用真空，高温阶段切微正压。升温到1500℃左右之前保持真空，把挥发性物质排干净。然后关闭真空泵，充入高纯氩气，切换到微正压保护模式，再继续升到目标温度。我们的控制系统支持工艺过程中自动切换，一键启动，中途无需人工干预。